
Yarı iletken üretim ve test süreçlerinde sıcaklık kontrolü
40 ℃'nin altındaki ısıtma yöntemi, tamamen kapalı bir tasarıma sahip kompresörlü sıcak gaz ısıtmayı benimser ve makine 24 saat boyunca sürekli çalışır
Ön uçtan arka uca kadar istikrarlı ve güvenilir genel yarı iletken süreç akışını sağlayın
Ürün Açıklaması
Yarı iletken sıcaklık kontrol cihazı Chiller, yarı iletken üretim ve test süreçlerinde esas olarak hassas sıcaklık kontrolü için kullanılır. Ürünleri arasında sıvı florlu sıvı sıcaklık kontrolü (minimum -100 derece), gaz soğutma ve ısıtmanın hızlı sıcaklık değişimi, hızlı sıcaklık değişimi mandreni, düşük sıcaklıklı gaz soğutma makinesi (-120 derece), doğrudan soğutma soğutma ünitesi (-150 derece) vb. bulunur. Şirket, hızlı tepki ve yüksek kontrol doğruluğu elde etmek için sistemde çeşitli algoritmalar (PID, ileri beslemeli PID ve modelsiz kendi kendine oluşturulmuş ağaç algoritması) uygular.
Chiller’in egzoz ve emiş sıcaklığı (basıncı), yoğuşma sıcaklığı, soğutma suyu sıcaklığı (basıncı), giriş ve çıkış sıvı (gaz) sıcaklığı (basıncı), elektrik gücü, her bir komponentin akımı ve gerilimi, su tankı seviyesi gibi önemli bilgiler, kontrol sistemine bağlı sensörler aracılığıyla kapsamlı bir şekilde yönetilir, izlenir ve kayıt altına alınır.
40 ℃ içindeki ısıtma yöntemi kompresörlü sıcak gaz ısıtmasını benimser.
Soğutucu sirkülasyon sistemi tamamen kapalı bir tasarıma sahiptir ve sirkülasyon pompası manyetik tahrikli bir pompaya sahiptir.
Chiller 100% helyum testi, sistem emniyeti ve güvenilirliğini sağlamak için 100% güvenlik yönetmeliklerine uygun test.
Soğutucu fotokopi makinesini 100%'de 24 saat boyunca sürekli olarak çalıştırır.

Fab ekipmanlarındaki işlem sıcaklığını kontrol eden soğutucular
Tek kanallı hava soğutmalı soğutucu, esas olarak aşındırma makineleri için tasarlanmıştır. Hazne yan duvarları için bağımsız sıcaklık kontrolü sağlamak için kullanılır.
Yapılandırma Ayrıntıları
Örnek | FLTZ-002/002W | FLTZ-003/003W | FLTZ-004/004W | FLTZ-006/006W | FLTZ-008/008W | FLTZ-010/010W | FLTZ-015/015W |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Sıcaklık Kontrolü | 5℃~90℃ | ||||||
Sıcaklık Doğruluğu | ±0,05℃ | ||||||
Akış Kontrolü | 10~25L/dak, 5bar maksimum | 15~45L/dak, 6bar maksimum | 25~75L/dak, 6bar maksimum | ||||
Soğutma Kapasitesi @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
İç Sirkülasyon Sıvı Hacmi | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
Genleşme Tankı Kapasitesi | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
Soğutucu | R410A | ||||||
İkincil Soğutucu | Silikon yağı, florlu sıvı, etilen glikol sulu çözeltisi, DI, vb. (DI sıcaklığının 10℃'nin üzerinde kontrol edilmesi gerekir) | ||||||
Giriş ve Çıkış Arayüzleri | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Soğutma Suyu Çıkışı | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Soğutma Suyu Akış Hızı @20℃ | 1,5m³/saat | 2m³/saat | 2,5m³/saat | 4m³/saat | 4,5m³/saat | 5,6 m³/saat | 9m³/saat |
Güç Kaynağı (380V) | 3,5 kW | 4kW | 5,5 kW | 7kW | 9,5 kW | 12kW | 16 kW |
Sıcaklık Uzantısı | Elektrikli ısıtıcı ekleyerek sıcaklık aralığını -25℃ ile 80℃ arasında genişletin |
Örnek | FLTZ-202 FLTZ-202B |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
Sıcaklık Aralığı | -25℃~90℃ | ||||||
Sıcaklık Kontrol Doğruluğu | ±0,05℃ | ||||||
Akış Kontrolü | 10~25L/dak ±0,3 | 15~45L/dak ±0,3 | 25~75L/dak ±0,3 | ||||
Frekans konvertörü ile ayarlanır; maksimum basınç: 5bar. | |||||||
Soğutma @-15℃ |
2kW | 3kW | 3,8 kW | 6kW | 7,6 kW | 10kW | 15kW |
İç Dolaşım Sıvı Hacmi | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
Genleşme Tankı Hacmi | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
Soğutucu | R404A | ||||||
İkincil Soğutucu | Silikon yağı, florlu sıvı, etilen glikol sulu çözeltisi vb. | ||||||
Giriş/Çıkış Arayüzü | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Soğutma Suyu Bağlantısı | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Soğutma Suyu Akışı @20℃ |
1,2 m³/saat | 1,6 m³/saat | 2,6 m³/saat | 3,6 m³/saat | 5,5 m³/saat | 7m³/saat | 10,2 m³/saat |
Güç (380V) |
3kW | 4kW | 6kW | 8kW | 9kW | 13kW | 17kW |
Sıcaklık Genişlemesi | Elektrikli ısıtıcı ile -25℃~80℃'ye kadar uzayabilir. |
Örnek | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
Sıcaklık Kontrolü | -45℃~90℃ | ||||||
Sıcaklık Kontrol Doğruluğu | ±0,05℃ | ||||||
Akış Kontrolü | 10~25L/dak, 5bar maksimum | 15~45L/dak, 6bar maksimum | 25~75L/dak, 6bar maksimum | ||||
Kompresör ısıtması kondenserin buzlanmasını önler. | |||||||
Soğutma Kapasitesi @-35℃ |
1kW | 1,4 kW | 1,8 kW | 2,5 kW | 3,3 kW | 5kW | 8kW |
İç Dolaşım Sıvı Hacmi | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
Genleşme Tankı Hacmi | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
Soğutucu | R404A | ||||||
İkincil Soğutucu | Silikon yağı, florlu sıvı, etilen glikol sulu çözeltisi vb. | ||||||
Giriş/Çıkış Arayüzü | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG3/4 |
Soğutma Suyu Bağlantısı | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Soğutma Suyu Akışı @20℃ |
1,5m³/saat | 2,4 m³/saat | 3,5 m³/saat | 5m³/saat | 5,5 m³/saat | 6m³/saat | 8m³/saat |
Güç (380V) |
3kW | 4kW | 6kW | 7,5 kW | 9kW | 12kW | 15kW |
Sıcaklık Genleşmesi | Elektrikli ısıtıcı ile -25℃~80℃'ye kadar uzayabilir. |



İletişim fonksiyonu
Standart ekipman seriyi içerir
İletişim (RS232C, RS485) ve kontak girişi/çıkışı. Müşteri cihazları veya yapı sistemleri ile iletişim kurabilir.

istemci çıkış sinyali
ürünleri tavsiye et
Isı Değişimi Soğutucu ETCU” />
Temp Range:+5℃~90℃ ±0.3℃ Cooling Capacity: 5kw~30kw Tank volume: 6L~15L Power: 06KW~1.6KW Temperature control in semiconductor production and testing processes Heating method within 40 ℃ adopts a compressor… Isı Değişimi Soğutucu ETCUTemp Range:+5℃~90℃ ±0.3℃ Cooling Capacity: 5kw~30kw Tank volume: 6L~15L Power: 06KW~1.6KW Temperature control in semiconductor production and testing processes Heating method within 40 ℃ adopts a compressor…
yükleniyor…
已经是到最后一篇内容了!