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열교환 냉각기 ETCU

열교환 냉각기(반도체 온도 제어)

ETCU 5℃~90℃

온도 범위: +5℃~90℃ ±0.3℃

냉각 용량: 5kw~30kw

탱크 용량: 6L~15L

힘: 06KW~1.6KW

반도체 생산 및 테스트 공정에서의 온도 제어

40℃이내 가열방식은 압축기 고온가스 가열 완전밀폐형 설계를 채택하여 24시간 연속운전이 가능합니다.

프런트엔드에서 백엔드까지 안정적이고 신뢰할 수 있는 전체 반도체 공정 흐름을 보장합니다.

모델 ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
온도 범위 냉각수 온도 +5℃~90℃
온도 조절 정확도 ±0.05℃ (출구온도 정상상태)
냉각수 온도 7℃~30℃ Siemens/Honeywell 조절밸브를 사용하여 냉각수 유량을 조절합니다.
냉각 용량 5kw 15kw 30kw 50kw 100kw 200kw 300kw
순환 펌프 흐름 시험 조건 : 최대 순환 시 제어 온도와 냉각수 온도의 온도 차이는 15°C
저장 탱크 용량 7~20L/분 5기압 15~40L/분 5기압 20~60L/분 5기압 40~110L/분 5bar 150~250L/분 5기압 250~500L/분 5기압 400~650L/분 5기압
치수 5리터 10리터 20리터 30리터 60리터 120리터 240리터
치수 480*750*390 480*750*390 480*750*500 사용자 정의 사용자 정의 사용자 정의 사용자 정의

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