LNEYA CHILLERS
반도체 냉각 칠러
FLTZ -45℃~90℃- 온도 정확도±0.1℃
- 흐름 제어25~75/분 6bar 최대
- 냉매R404A
- 파워 범위380V 3.5kW~16kW
반도체 생산 및 테스트 공정에서의 온도 제어
40℃이내 가열방식은 압축기 고온가스 가열 완전밀폐형 설계를 채택하여 24시간 연속운전이 가능합니다.
프런트엔드에서 백엔드까지 안정적이고 신뢰할 수 있는 전체 반도체 공정 흐름을 보장합니다.
제품 설명
반도체 온도 제어 장치 칠러는 주로 반도체 생산 및 테스트 공정에서 정밀한 온도 제어에 사용됩니다. 제품에는 유체 불소화 액체 온도 제어(최소 -100도), 가스 냉각 및 가열의 빠른 온도 변화, 빠른 온도 변화 척, 저온 가스 냉장 기계(-120도), 직접 냉각 냉장 장치(-150도) 등이 있습니다. 이 회사는 시스템에 다양한 알고리즘(PID, 피드포워드 PID, 모델 프리 자체 구축 트리 알고리즘)을 적용하여 빠른 응답과 높은 제어 정확도를 달성합니다.
배기 및 흡입 온도(압력), 응축 온도, 냉각수 온도(압력), 입구 및 출구 액체(가스) 온도(압력), 각 구성 요소의 전력, 전류 및 전압, 냉각기의 물탱크 수위 등의 중요 정보는 모두 제어 시스템에 연결된 센서를 통해 종합적으로 관리, 모니터링 및 기록됩니다.
40℃ 이내의 가열 방식은 압축기 고온가스 가열을 채택합니다.
냉각기 순환 시스템은 완전 밀폐형 설계를 채택하고, 순환 펌프는 자기 구동 펌프를 채택했습니다.
냉각기 100% 헬륨 테스트, 100% 안전 규정 테스트를 통해 시스템의 안전성과 신뢰성을 보장합니다.
냉각기는 100%에서 24시간 동안 복사기를 연속적으로 작동시킵니다.
Fab 장비의 처리 온도를 제어하는 냉각기
단일 채널 공랭 쿨러, 주로 에칭 머신용으로 설계됨. 챔버 측벽에 대한 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.
구성 세부 정보
| 모델 | FLTZ-002/002W | FLTZ-003/003W | FLTZ-004/004W | FLTZ-006/006W | FLTZ-008/008W | FLTZ-010/010W | FLTZ-015/015W |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 온도 조절 | 5℃～90℃ | ||||||
| 온도 정확도 | ±0.05℃ | ||||||
| 흐름 제어 | 10～25L/분, 최대 5bar | 15～45L/분, 최대 6bar | 25～75L/분, 최대 6bar | ||||
| 냉장 용량 @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 내부 순환 액체 부피 | 4리터 | 5리터 | 6리터 | 8리터 | 10리터 | 12리터 | 20리터 |
| 팽창 탱크 용량 | 10리터 | 10리터 | 15리터 | 15리터 | 20리터 | 25리터 | 35리터 |
| 냉각제 | R410A | ||||||
| 2차 냉매 | 실리콘 오일, 불소계 액상, 에틸렌글리콜 수용액, DI 등 (DI 온도는 10℃ 이상 조절 필요) | ||||||
| 진입 및 종료 인터페이스 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 |
| 냉각수 출구 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 | 지그1 | ZG1 1/8 |
| 냉각수 유량 @20℃ | 1.5m³/시간 | 2m³/시 | 2.5m³/시간 | 4m³/시 | 4.5m³/시 | 5.6m³/시 | 9m³/시 |
| 전원 공급 장치(380V) | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
| 온도 확장 | 전기 히터를 추가하여 -25℃ ~ 80℃까지 온도 범위를 확장 | ||||||
| 모델 | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 온도 범위 | -25℃～90℃ | ||||||
| 온도 제어 정확도 | ±0.05℃ | ||||||
| 흐름 제어 | 10～25L/분 ±0.3 | 15～45L/분 ±0.3 | 25～75L/분 ±0.3 | ||||
| 주파수 변환기로 조정됨; 최대 압력: 5bar. | |||||||
| 냉각 @-15℃ |
2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| 내부 순환 유체 용량 | 4리터 | 5리터 | 6리터 | 8리터 | 10리터 | 12리터 | 20리터 |
| 팽창 탱크 용량 | 10리터 | 10리터 | 15리터 | 15리터 | 20리터 | 25리터 | 35리터 |
| 냉각제 | R404A | ||||||
| 2차 냉매 | 실리콘 오일, 불소계 액체, 에틸렌 글리콜 수용액 등 | ||||||
| 유입/유출 인터페이스 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 |
| 냉각수 연결 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 | ZG1 1/8 |
| 냉각수 흐름 @20℃ |
1.2m³/시간 | 1.6m³/시 | 2.6m³/시 | 3.6m³/시 | 5.5m³/시 | 7m³/시 | 10.2m³/시 |
| 힘 (380V) |
3kW | 4kW | 6kW | 8kW | 9kW | 13kW | 17kW |
| 임시 확장 | 전기 히터를 사용하면 -25℃~80℃까지 확장 가능합니다. | ||||||
| 모델 | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 온도 조절 | -45℃～90℃ | ||||||
| 온도 제어 정확도 | ±0.05℃ | ||||||
| 흐름 제어 | 10～25L/분, 최대 5bar | 15～45L/분, 최대 6bar | 25～75L/분, 최대 6bar | ||||
| 압축기 가열은 응축기 결빙을 방지합니다. | |||||||
| 냉장 용량 @-35℃ |
1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 내부 순환 유체 용량 | 4리터 | 5리터 | 6리터 | 8리터 | 10리터 | 12리터 | 20리터 |
| 팽창 탱크 용량 | 10리터 | 10리터 | 15리터 | 15리터 | 20리터 | 25리터 | 35리터 |
| 냉각제 | R404A | ||||||
| 2차 냉매 | 실리콘 오일, 불소계 액체, 에틸렌 글리콜 수용액 등 | ||||||
| 유입/유출 인터페이스 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그1 | 지그3/4 |
| 냉각수 연결 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 | 지그1 | ZG1 1/8 |
| 냉각수 흐름 @20℃ |
1.5m³/시간 | 2.4m³/시간 | 3.5m³/시 | 5m³/시 | 5.5m³/시 | 6m³/시 | 8m³/시 |
| 힘 (380V) |
3kW | 4kW | 6kW | 7.5kW | 9kW | 12kW | 15kW |
| 온도 확장 | 전기 히터를 사용하면 -25℃~80℃까지 확장 가능합니다. | ||||||
통신기능
표준 장비에는 직렬이 포함됩니다.
통신(RS232C, RS485) 및 접점 입력/출력. 고객 장치와 통신하거나 시스템을 구축할 수 있습니다.
클라이언트 출력 신호
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열교환 냉각기 ETCU” />
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