LNEYA CHILLERS
열 척 또는 열 플레이트/열 제어 장치
평균온도 -75℃～225℃- 온도 정확도±0.1℃
- 가열 전력-60°C ~ +25°C: 2분 0°C ~ +25°C: 2분 +25°C ~ +220°C: 6분
- 냉각 전력220°C ~ +25°C: 2분 +25°C ~ -60°C: 6분
- 소스 파워2.8KW
- 평평한 모양원형/사각형
빠른 온도 변화 제어 척
-75℃ ~ 225℃
구성 세부 정보
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모델 |
MD-708 |
MD-712 |
MDL-708 |
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온도 범위 |
-75℃～225℃ |
-75℃～225℃ |
-75℃～225℃ |
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온도 조절 정확도 |
±0.1℃ |
±0.1℃ |
±0.1℃ |
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온도 균일성 |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
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평탄 |
±50㎛ |
±50㎛ |
±50㎛ |
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태블릿 크기 |
200mm 직경 디스크 |
300mm 직경 디스크 |
150mm*200mm |
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호스트 및 카드 케이블 |
2.5m (다른 길이는 사용자 정의 가능) |
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평면 표면 처리 |
전기 도금 니켈 (선택 사항인 금 도금) |
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가열하다 |
-60°C ~ +25°C: 2분 0°C ~ +25°C: 2분 +25°C ~ +220°C: 6분 |
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쿨다운 |
220°C ~ +25°C: 2분 +25°C ~ -60°C: 6분 |
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제어 시스템 |
PLC 컨트롤러, 가열 피드 포워드 PID 퍼지 알고리즘, 냉각 전자 팽창 밸브 PID 조정 제어 냉각 용량 |
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표시 및 기록 |
7인치 컬러 터치 스크린, 기록 온도 곡선 |
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의사소통 |
이더넷 인터페이스 TCP/IP 프로토콜 |
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냉장 압축기 |
태강 |
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전원 공급 장치 |
220V 50/60Hz 2.8KW |
220V 50/60Hz 4.5KW |
220V 50/60Hz 2.8KW |
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호스트 크기 mm |
550×650×370 |
550×650×370 |
550×650×370 |
제품 설명
MD의 열 테스트에서 가장 큰 혁신은 주로 반도체 웨이퍼의 성능 테스트, 모델링, 공정 개발, 설계 결함 또는 IC 고장 분석에 사용되는 일련의 열 제어 척입니다. 빠른 온도 변화를 실현하고 온도를 정밀하게 제어할 수 있습니다. 시스템 자체에는 액체 질소, 이산화탄소 등의 소모를 피하는 자체 냉장고가 있으며 각 시스템에는 척과 냉온 제어 장치가 포함되어 있습니다.
플레이트 내부는 냉매의 직접 증발 방식을 채택하여 액체 냉각 방식과 비교해 열교환 효율과 플레이트 단위 면적당 열교환 능력이 크게 향상되었습니다.
최대 25°C/분의 빠른 냉각/가열 속도
액체질소, 이산화탄소 등의 소모를 피하기 위한 내장형 냉장고. 프로그래밍 가능한 자동화, 온도 안정성 +/-0.1℃
컨트롤러는 장비 온도를 정확하게 제어하고 모니터링하기 위한 터치스크린과 원격 인터페이스를 제공합니다.
테스트 상태 표시 - 실시간 데이터
Thermal Chuck MD 시리즈는 개방형 평면 작업 플랫폼, 빠른 온도 상승 및 하강, 일정한 온도 제어를 제공하여 RF 장치 및 고밀도 전력 장치(IGBT 및 MOSFET) 테스트에 사용할 수 있으며 실험실 평판 패널(플라스마, 생물학적 제품, 배터리) 등의 빠른 냉각에도 사용할 수 있습니다.
