


모델 | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
온도 범위 | 5℃~90℃ | ||||||
온도 조절 정확도 | ±0.05℃(정상상태 출구온도) | ||||||
냉각 용량 @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
내부 순환 유체 용량 | 4리터 | 5리터 | 6리터 | 8리터 | 10리터 | 12리터 | 20리터 |
팽창 탱크 용량 | 10리터 | 10리터 | 15리터 | 15리터 | 20리터 | 25리터 | 35리터 |
냉각제 | R410A | ||||||
냉장 매체 | 실리콘 오일, 불소계 액상, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 온도는 10℃ 이상 조절 필요) | ||||||
연결 크기 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 |
냉각수 연결 크기 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 | 지그1 | ZG1 1/8 |
냉각수 유량 @20℃ | 1.5m³/시간 | 2m³/시 | 2.5m³/시간 | 4m³/시 | 4.5m³/시 | 5.6m³/시 | 9m³/시 |
공정 온도 제어 | 원격 목표 온도는 자체 생성 모델과 자유 자체를 결합하여 제어할 수 있습니다. 빌드 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘 |
||||||
치수 cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
모델 | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
온도 범위 | -100℃~+90℃ | |
온도 조절 정확도 | ±0.05℃(정상상태 출구온도) | |
흐름 제어 | 7~25L/분 | 12~45L/분 |
냉각 용량 -90℃ | 1.5kW | 3kW |
가열 용량 | 3.5kW | 5.5kW |
내부 순환 유체 용량 | 5리터 | 8리터 |
팽창 탱크 용량 | 10리터 | 15리터 |
열전도 매체 | 불소화액체 | |
연결 크기 | 지그3/4 | 지그3/4 |
냉각수 연결 크기 | 지그3/4 | 지그1 |
냉각수@20℃ | 50L/분 2bar~7bar | 100L/분 2bar~7bar |
회로 차단기 | 32A | 63A |
공정 온도 제어 | 원격 목표 온도는 자체 생성 모델과 자유 자체를 결합하여 제어할 수 있습니다. 빌드 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘 |
모델 | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
온도 범위 | 5℃~90℃ | ||||||
온도 조절 정확도 | ±0.05℃(정상상태 출구온도) | ||||||
냉각 용량 @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
내부 순환 유체 용량 | 4리터 | 5리터 | 6리터 | 8리터 | 10리터 | 12리터 | 20리터 |
팽창 탱크 용량 | 10리터 | 10리터 | 15리터 | 15리터 | 20리터 | 25리터 | 35리터 |
냉각제 | R410A | ||||||
냉장 매체 | 실리콘 오일, 불소계 액상, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 온도는 10℃ 이상 조절 필요) | ||||||
연결 크기 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 |
냉각수 연결 크기 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 | 지그1 | ZG1 1/8 |
냉각수 유량 @20℃ | 1.5m³/시간 | 2m³/시 | 2.5m³/시간 | 4m³/시 | 4.5m³/시 | 5.6m³/시 | 9m³/시 |
공정 온도 제어 | 원격 목표 온도는 자체 생성 모델과 자유 자체를 결합하여 제어할 수 있습니다. 빌드 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘 |
||||||
치수 cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
모델 | FLTZ-202 | FLTZ-203 | FLTZ-204 | FLTZ-206 | FLTZ-208 | FLTZ-210 | FLTZ-215 |
FLTZ-202W | FLTZ-203W | FLTZ-204W | FLTZ-206W | FLTZ-208W | FLTZ-210W | FLTZ-215W | |
온도 범위 | -25℃~90℃ | ||||||
온도 조절 정확도 | ±0.05℃(정상상태 출구온도) | ||||||
흐름 제어 | 10~25L/분 | 15~45L/분 | 25~75L/분 | ||||
냉각 용량 @-15℃ | 2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
내부 순환 유체 용량 | 4리터 | 5리터 | 6리터 | 8리터 | 10리터 | 12리터 | 20리터 |
팽창 탱크 용량 | 10리터 | 10리터 | 15리터 | 15리터 | 20리터 | 25리터 | 35리터 |
냉각제 | R404A | ||||||
냉장 매체 | 실리콘 오일, 불소화액, 글리콜 용액 등 | ||||||
연결 크기 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 |
냉각수 연결 크기 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 | ZG1 1/8 |
냉각수 유량 @20℃ | 1.2m³/시간 | 1.6m³/시간 | 2.6m³/시간 | 3.6m³/시간 | 5.5m³/시간 | 7m³/시간 | 10.2m³/시간 |
공정 온도 제어 | 원격 목표 온도는 자체 생성 모델과 자유 자체를 결합하여 제어할 수 있습니다. 빌드 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘 |
||||||
치수 cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
모델 | FLTZ-402 | FLTZ-403 | FLTZ-404 | FLTZ-406 | FLTZ-408 | FLTZ-410 | FLTZ-415 |
FLTZ-402W | FLTZ-403W | FLTZ-404W | FLTZ-406W | FLTZ-408W | FLTZ-410W | FLTZ-415W | |
온도 범위 | -45℃~90℃ | ||||||
온도 조절 정확도 | ±0.05℃(정상상태 출구온도) | ||||||
흐름 제어 | 10~25L/min 5bar 최대 | 15~45L/min 5bar 최대 | 25~75L/min 5bar 최대 | ||||
난방 | 압축기 가열을 사용하여 응축기 결로 방지 기술 | ||||||
냉각 용량 @-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
내부 순환 유체 용량 | 4리터 | 5리터 | 6리터 | 8리터 | 10리터 | 12리터 | 20리터 |
팽창 탱크 용량 | 10리터 | 10리터 | 15리터 | 15리터 | 20리터 | 25리터 | 35리터 |
냉각제 | R404A | ||||||
냉장 매체 | 실리콘 오일, 불소화액, 글리콜 용액 등 | ||||||
연결 크기 | 지그1/2 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 |
냉각수 연결 크기 | 지그1/2 | 지그3/4 | 지그3/4 | 지그1 | 지그1 | 지그1 | ZG1 1/8 |
냉각수 유량 @20℃ | 1.5m³/시간 | 2.4m³/시간 | 3.5m³/시간 | 5m³/시간 | 5.5m³/시간 | 6m³/시간 | 8m³/시간 |
공정 온도 제어 | 원격 목표 온도는 자체 생성 모델과 자유 자체를 결합하여 제어할 수 있습니다. 빌드 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘 |
||||||
치수 cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
모델 | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
온도 범위 | 냉각수 온도 +5℃~90℃ | ||||||
온도 조절 정확도 | ±0.05℃(정상상태 출구온도) | ||||||
냉각수 온도 | 7℃~30℃ 냉각수 유량은 Siemens/Honeywell 조절밸브로 조절 | ||||||
냉각 용량 | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
시험조건 : 최대 순환량, 온도차이 온도 조절 온도와 냉각수 온도는 15℃ 입니다. |
|||||||
순환 펌프 | 7~20L/분 5기압 | 15~40L/분 5기압 | 20~60L/분 5기압 | 40~110L/분 5bar | 150~250L/분 5기압 | 250~500L/분 5기압 | 400~650L/분 5기압 |
탱크 용량 | 5리터 | 10리터 | 20리터 | 30리터 | 60리터 | 120리터 | 240리터 |
치수 cm | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | 사용자 정의 | 사용자 정의 | 사용자 정의 | 사용자 정의 |



단일 채널 공랭 쿨러, 주로 에칭 머신용으로 설계됨. 챔버 측벽에 대한 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.
응용 프로그램

제품 추천
에어쿨링 칠러 AET 시리즈” />
모든 종류의 반도체 칩, 플래시 메모리, 플래시/EMMC, PCB 회로 기판, 광통신, 전자 산업 등의 IC 테스트에 적합합니다. 에어쿨링 칠러 AET 시리즈모든 종류의 반도체 칩, 플래시 메모리, 플래시/EMMC, PCB 회로 기판, 광통신, 전자 산업 등의 IC 테스트에 적합합니다.
평균온도 -75℃~225℃” />
-75℃ ~ 225℃ 모델 MD-708 MD-712 MDL-708 온도 범위 -75℃~225℃ -75℃~225℃ -75℃~225℃ 온도 제어 정확도 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ 온도 균일성 ±1℃ ±1℃ ±1℃ 평탄도 ±50um ±50um ±50um 정제 크기 200mm 직경 di… 평균온도 -75℃~225℃-75℃ ~ 225℃ 모델 MD-708 MD-712 MDL-708 온도 범위 -75℃~225℃ -75℃~225℃ -75℃~225℃ 온도 제어 정확도 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ 온도 균일성 ±1℃ ±1℃ ±1℃ 평탄도 ±50um ±50um ±50um 정제 크기 200mm 직경 di…
ZLJ -40℃~-15℃” />
여러 장치를 하나의 대형 캐비닛에 통합하여 다양한 제어 요구 사항을 충족할 수 있음 작은 열교환 면적과 큰 열교환 용량에 사용 테이블 {width: 100%;border-collapse: collapse;}th, t… ZLJ -40℃~-15℃여러 장치를 하나의 대형 캐비닛에 통합하여 다양한 제어 요구 사항을 충족할 수 있음 작은 열교환 면적과 큰 열교환 용량에 사용 테이블 {width: 100%;border-collapse: collapse;}th, t…
가스 냉각 칠러 LQ -40°C~-110°C” />
LQ -110°C~+110°C Gas Cooling Chiller Cooling capacity:0.25kW~25kW Power range:6.5kW~50kW Temperature control accuracy :±0.3℃ Gas flow rate per minute 12m³/h~100m³/h Cooling temperature range:-110°C~+110°C Gas coolin… 가스 냉각 칠러 LQ -40°C~-110°CLQ -110°C~+110°C Gas Cooling Chiller Cooling capacity:0.25kW~25kW Power range:6.5kW~50kW Temperature control accuracy :±0.3℃ Gas flow rate per minute 12m³/h~100m³/h Cooling temperature range:-110°C~+110°C Gas coolin…
로딩 중…
已经是到最后一篇内容了!