반도체 멀티채널 냉각기

FLTZ 30℃~100℃

냉각기 고정밀 냉온 순환기

온도 정확도±0.1℃
냉매R404A
흐름 제어25~75/분 6bar 최대
파워 범위380V 3kW~17kW

문의

제품 세부 정보 매개변수

FLTZ -10℃~90℃ 듀얼 채널

모델	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
관로	채널 1	채널 2	채널 3
온도 범위	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
온도 조절 정확도	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
냉각 용량	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
가열 용량	2kW	6kW	펌프 열 손실
열전달 매체 흐름	30L/분@0.85MPa	30L/분@0.85MPa	20L/분@0.8MPa
열전달 매체 인터페이스	지그3/4	지그3/4	지그3/4
주변 온도	10～35℃	10～35℃	10～35℃
주변 습도	30～70%	30～70%	30～70%
냉각수 온도	15～20℃	15～20℃	15～20℃
냉각수 흐름	30L/분@15~20℃	15L/분@15~20℃	15L/분@15~20℃
회로 차단기	75A
공정 온도 제어	자체 생성 모델 프리 자체 구축 트리 알고리즘 및 캐스케이드 알고리즘을 기반으로 원격 대상 온도를 제어합니다.
무게	600kg
치수	60010001700

모델	FLTZ-203W/2T 듀얼 시스템		FLTZ-305W/2T 듀얼 시스템		FLTZ-406W/2T 듀얼 시스템
온도 범위	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
온도 조절 정확도	±0.1℃
유량 제어 및 압력	15~45l/min 최대 6bar
난방	2.5kw	2.5kw	2.5kw	2.5kw	3.5kw	3.5kw
냉각 용량	-15℃에서 3KW	-15℃에서 3KW	-15℃에서 5KW	-15℃에서 5KW	-35℃에서 2.5KW	-35℃에서 2.5KW
내부순환액체량	5리터	5리터	8리터	8리터	8리터	8리터
팽창 탱크 용량	15리터		25리터		25리터
열전달 매체	불소화제, 부동액, 열가소성 실리콘 오일 등
냉각제	R404A/ R448
열전달 매체 인터페이스	지그3/4
냉각수 인터페이스	지그3/4
냉각수	20℃에서 50L/분		20℃에서 600L/분		20℃에서 50L/분
전원 공급	3상220V / 3상400V / 3상460V
공정 온도 제어	자체 생성 모델 프리 자체 구축 트리 알고리즘 및 캐스케이드 알고리즘을 기반으로 원격 대상 온도를 제어합니다.

FLTZ -45℃~90℃ 듀얼 채널

모델	FLTZ-203W/2T 듀얼 시스템		FLTZ-305W/2T 듀얼 시스템		FLTZ-406W/2T 듀얼 시스템
온도 범위	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
온도 조절 정확도	±0.1℃
열전도 매체 유량	15~45l/min 최대 6bar
가열 용량	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
냉각 용량	-15℃에서 3kW	-15℃에서 3kW	-15℃에서 5kW	-15℃에서 5kW	-35℃에서 2.5kW	-35℃에서 2.5kW
내부순환 유체량	5리터	5리터	8리터	8리터	8리터	8리터
팽창 탱크 용량	15리터		25리터		25리터
열전도 매체	불소계액체, 부동액, 열전도성 실리콘 오일 등
냉각제	R404A/ R448
열전도 매체 인터페이스	지그3/4
냉각수 인터페이스	지그3/4
냉각수 인터페이스	20℃에서 50L/분		20℃에서 600L/분		20℃에서 50L/분
힘	3상 220V/3상 400V/3상 460V
공정 온도 제어	원격 목표 온도는 자체 생성 모델 무료 자체 구축 트리를 결합하여 제어할 수 있습니다. 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘

FLTZ -20℃~90℃ 듀얼 채널

모델	FLTZ-203W-2T
관로	채널 1	채널 2
온도 범위	-20℃～+90℃	-20℃~～90℃
온도 조절 정확도	±0.1℃	±0.1℃
냉각 용량	4kW@-10℃	4kW@-10℃
가열 용량	2kW	2kW
열전달 매체 흐름	20L/분@0.5MPa	20L/분@0.5MPa
열전달 매체 인터페이스	지그3/4	지그3/4
주변 온도	10～35℃	10～35℃
주변 습도	30～70%	30～70%
냉각수 온도	15～20℃	15～20℃
냉각수 흐름	20L/분	20L/분
회로 차단기	30A
공정 온도 제어	자체 생성 모델 프리 자체 구축 트리 알고리즘 및 캐스케이드 알고리즘을 기반으로 원격 대상 온도를 제어합니다.
무게	400kg
치수	5009001600

반도체 생산 테스트 공정에서의 온도 제어

40℃이내 가열방식은 압축기 고온가스 가열 완전밀폐형 설계를 채택하여 24시간 연속운전이 가능합니다.

프런트엔드에서 백엔드까지 안정적이고 신뢰할 수 있는 전체 반도체 공정 흐름을 보장합니다.

반도체 생산 및 테스트 공정에서 정밀한 온도 제어에 주로 사용되며 압축기 고온가스 가열 방식을 사용하여 40°C 이내로 가열합니다.

제품 설명

1. 독립적인 온도 범위: 다양한 운영 요구 사항을 충족할 수 있도록 별도의 온도 제어 범위를 갖춘 다중 채널을 지원합니다.
2. 냉각 및 가열 기능: 온도 관리의 유연성을 높이기 위해 냉각과 가열 기능을 모두 지원합니다.
3. 유연한 시스템 옵션: 필요한 온도 범위에 맞춰 증기 압축 냉장 또는 ETCU 압축기 없는 열 교환 시스템의 두 가지 시스템 구성을 제공합니다.
4. 통합 디자인: 팽창 탱크, 응축기, 냉각수 시스템과 같은 구성 요소를 통합하여 성능과 효율성을 최적화합니다.
5. 컴팩트하고 사용하기 편리함: 장비 크기를 줄이고 작업 단계를 단순화하도록 설계되어 전반적인 사용성과 편의성이 향상되었습니다.

에어쿨링 칠러 AET 시리즈” />
모든 종류의 반도체 칩, 플래시 메모리, 플래시/EMMC, PCB 회로 기판, 광통신, 전자 산업 등의 IC 테스트에 적합합니다.

에어쿨링 칠러 AET 시리즈
모든 종류의 반도체 칩, 플래시 메모리, 플래시/EMMC, PCB 회로 기판, 광통신, 전자 산업 등의 IC 테스트에 적합합니다.
평균온도 -75℃～225℃” />
-75℃ ~ 225℃ 모델 MD-708 MD-712 MDL-708 온도 범위 -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ 온도 제어 정확도 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ 온도 균일성 ±1℃ ±1℃ ±1℃ 평탄도 ±50um ±50um ±50um 정제 크기 200mm 직경 di…

평균온도 -75℃～225℃
-75℃ ~ 225℃ 모델 MD-708 MD-712 MDL-708 온도 범위 -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ 온도 제어 정확도 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ 온도 균일성 ±1℃ ±1℃ ±1℃ 평탄도 ±50um ±50um ±50um 정제 크기 200mm 직경 di…
ZLJ -40℃~-15℃” />
여러 장치를 하나의 대형 캐비닛에 통합하여 다양한 제어 요구 사항을 충족할 수 있음 작은 열교환 면적과 큰 열교환 용량에 사용 테이블 {width: 100%;border-collapse: collapse;}th, t…

ZLJ -40℃~-15℃
여러 장치를 하나의 대형 캐비닛에 통합하여 다양한 제어 요구 사항을 충족할 수 있음 작은 열교환 면적과 큰 열교환 용량에 사용 테이블 {width: 100%;border-collapse: collapse;}th, t…
가스 냉각 칠러 LQ -40°C~-110°C” />
LQ -110°C~+110°C Gas Cooling Chiller Cooling capacity：0.25kW~25kW Power range：6.5kW~50kW Temperature control accuracy ：±0.3℃ Gas flow rate per minute 12m³/h~100m³/h Cooling temperature range：-110°C~+110°C Gas coolin…

가스 냉각 칠러 LQ -40°C~-110°C
LQ -110°C~+110°C Gas Cooling Chiller Cooling capacity：0.25kW~25kW Power range：6.5kW~50kW Temperature control accuracy ：±0.3℃ Gas flow rate per minute 12m³/h~100m³/h Cooling temperature range：-110°C~+110°C Gas coolin…