열교환 냉각기(반도체 온도 제어)
ETCU 5℃~90℃온도 범위: +5℃~90℃ ±0.3℃
냉각 용량: 5kw~30kw
탱크 용량: 6L~15L
힘: 06KW~1.6KW
반도체 생산 및 테스트 공정에서의 온도 제어
40℃이내 가열방식은 압축기 고온가스 가열 완전밀폐형 설계를 채택하여 24시간 연속운전이 가능합니다.
프런트엔드에서 백엔드까지 안정적이고 신뢰할 수 있는 전체 반도체 공정 흐름을 보장합니다.
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