LNEYA CHILLERS
ZLJ -40℃~-15℃
반도체 생산 공정용 공랭식 냉각기- 압축기1.5마력~7마력
- 냉매R404A R507C R448
- 파워 범위380V 50HZ 220V 선택 가능
- 온도 정확도±0.5℃
반도체 생산 및 테스트 공정에서의 온도 제어
CHILLER 직접냉각형
여러 장치를 더 큰 캐비닛에 병합하면 다양한 제어 요구 사항을 달성할 수 있습니다.
작은 열교환 면적과 큰 열교환 용량에 사용
구성 세부 정보
| 모델 | ZLJ-41.0 | ZLJ-41.5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
| 온도 범위 | -40℃～-10℃ | ||||||
| 온도 조절 정확도 | ±0.5℃ 제어 증발 온도 | ||||||
| 조절 방법 | 전자식 팽창밸브 | ||||||
| 제어 장치 | 지멘스 PLC | ||||||
| 기록보기 | 7인치 터치스크린, 온도, 시스템 압력 및 기타 정보 기록 | ||||||
| 주요 구성 요소 | Danfoss 필터 드라이어, Castor 솔레노이드 밸브, Johnson Controls 압력 센서, EBM 팬(공랭식), Danfoss/Emerson 오일 분리기 | ||||||
| 압축기 | Secop, Taikang, 에머슨, Carlisle | ||||||
| 냉각제 | R404A 선택 R507C R448 | ||||||
| 고온 냉각 | 150도 고온 직접 냉각 기술을 통해 고온 작동 시 빠른 냉각 능력이라는 목표를 충족합니다. | ||||||
| Compressor Size | 7/8마력 | 1.5마력 | 2마력 | 3마력 | 4마력 | 6마력 | 8마력 |
| 전원 공급 V | 220V 50Hz | 380V 50HZ 220V 맞춤 가능 | |||||
제품 설명
150℃ 고온에서 직접 냉각 기술을 탑재하여 고온 작동 시 빠른 냉각 능력 목표 달성
제품은 냉장 시스템의 냉매를 직접 출력하고 증발시켜 열 교환을 위한 대상 제어 요소(열 교환기)로 보내어 대상 제어 대상을 냉각합니다. 열 교환기로 운반되는 유체(가스)와 비교할 때 열 교환 용량은 일반적으로 5배 이상 높으며, 특히 열 교환기의 열 교환 면적은 작지만 열 교환 용량이 큰 응용 분야에 적합합니다.
직접 냉각 냉장고는 가스 포집에도 사용될 수 있으며, 냉매는 트랩에 직접 통과하여 증발하고, 공간 내의 가스는 트랩 표면의 응축 효과를 통해 빠르게 포집됩니다.
모습
1.냉매 인터페이스 2. 휴대용 핸들
3. 터치스크린 4. 휴대용 핸들
5. 터치스크린 카드 슬롯 6. 공기 배출구
보안 보호
슈나이더 및 기타 브랜드의 잔류 전류 차단기, 위상 시퀀스 위상 차단기, 액체 레벨 보호기, 고저 전압 보호기, 고온 보호기 사용
데이터 통신 인터페이스
표준 구성에는 PT100, USB 인터페이스, RS485 통신 인터페이스가 포함됩니다. 다양한 다른 아날로그 인터페이스와 접점 신호는 물론 이더넷 인터페이스도 선택할 수 있습니다.
신청 절차
반도체 웨이퍼 공장의 에칭, 화학 기상 증착 및 물리 기상 증착 공정에 광범위하게 적용 가능
웨이퍼 에칭
화학 기상 증착
물리 기상 증착
에칭
화학증착증착
물리화학적 특성
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