LNEYA CHILLERS
ゼットエルジェ -40℃~-15℃
半導体製造工程向け空冷チラー- コンプレッサー1.5馬力～7馬力
- 冷媒R404A R507C R448
- 出力範囲380V 50HZは220Vを選択できます
- 温度精度±0.5℃
半導体製造および試験工程における温度制御
チラー直冷式
複数のデバイスを大きなキャビネットに統合することで、複数の制御要件を満たすことができます。
小さな熱交換面積と大きな熱交換容量に使用されます
構成の詳細
| モデル | ZLJ-41.0 | ZLJ-41.5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
| 温度範囲 | -40℃～-10℃ | ||||||
| 温度制御精度 | ±0.5℃制御蒸発温度 | ||||||
| スロットリング方式 | 電子膨張弁 | ||||||
| コントローラ | シーメンス | ||||||
| 記録を表示 | 7インチのタッチスクリーン、温度、システム圧力、その他の情報を記録 | ||||||
| 主なコンポーネント | ダンフォスフィルタードライヤー、キャスターソレノイドバルブ、ジョンソンコントロールズ圧力センサー、EBMファン（空冷式）、ダンフォス/エマーソンオイルセパレーター、 | ||||||
| コンプレッサー | セコップ、タイカン、エマーソン、カーライル | ||||||
| 冷媒 | R404A オプション R507C R448 | ||||||
| 高温冷却 | 150度の高温直接冷却技術により、高温動作時の急速冷却能力の目標を達成します。 | ||||||
| Compressor Size | 7/8馬力 | 1.5馬力 | 2HP | 3HP | 4馬力 | 6馬力 | 8馬力 |
| 電源V | 220V 50Hz | 380V 50HZ カスタマイズ可能 220V | |||||
製品説明
150℃の高温での直接冷却技術を搭載し、高温動作時の急速冷却能力の目標を達成
本製品は、冷凍システム内の冷媒を制御対象素子（熱交換器）に直接出力・蒸発させて熱交換し、制御対象を冷却します。熱交換器に輸送される流体（ガス）と比較すると、熱交換容量は一般的に5倍以上高く、特に熱交換器の熱交換面積は小さいが熱交換容量が大きい用途に適しています。
直冷式冷凍機はガス捕捉としても使用でき、冷媒は直接トラップに送られて蒸発し、トラップの表面での凝縮効果により空間内のガスが急速に捕捉されます。
外観
1.冷媒インターフェース 2.ポータブルハンドル
3. タッチスクリーン 4. ポータブルハンドル
5. タッチスクリーンカードスロット 6. 排気口
セキュリティ保護
シュナイダー社および他のブランドの残留電流遮断器、相順相遮断器、液面保護装置、高電圧および低電圧保護装置、高温保護装置の使用
データ通信インターフェース
標準構成には、PT100、USBインターフェース、RS485通信インターフェースが含まれます。その他のさまざまなアナログインターフェースや接点信号、イーサネットインターフェースも選択できます。
申請プロセス
半導体ウェーハ工場のエッチング、化学蒸着、物理蒸着プロセスに幅広く適用可能
ウェーハエッチング
化学蒸着
物理蒸着
エッチング
CVD
PVD
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