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温度範囲 -100℃~90℃

半導体製造工程用水チラー
  • 温度精度±0.1℃
  • フロー制御12〜45L/分
  • 出力範囲380V
  • チラーサイズカスタマイズをサポート

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FLT-100℃~90℃低温カスケード23

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半導体用チラー

LNEYA は、半導体機械およびチップ製造プロセス向けにカスタマイズされた高品質の半導体チラーを設計、製造しています。
• 包括的な製品ライン: 多様な要件を満たすために 0.5 トンから 98 トンまでの冷却能力を提供します。
• 高品質のコンポーネント: 最高級のコンプレッサー、ステンレススチール製の水タンク、ポンプを装備し、効率的でクリーンかつ信頼性の高い操作を実現します。
• コンパクトで耐久性のあるデザイン: 防水構造とコンパクトな設置面積を備え、屋内または屋外の設置に適しています。
• 幅広い用途: ウェーハチャックの冷却/加熱、ATE テスト、レーザートリミング、計測ツール、UV 硬化システムに最適です。
• カスタム ソリューション: 20 年以上の経験を持つ LNEYA は、半導体冷却のニーズに合わせて標準システムまたはカスタマイズされたソリューションを提供できます。

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必要な半導体チラーをご用意しております

  • 完全な半導体温度制御ソリューション
  • 半導体温度制御に関する適切な見積書と機器設置マニュアルを提供する
  • 高度な温度制御技術を使用して、半導体処理装置の実際の温度を維持します。温度コントローラは温度変化を感知し、自動的に調整します。
  • 保証期間は納品日から最大18か月です

チラー製品の特徴

可変周波数ポンプは循環液の圧力と流量を調整できます

循環液の出力圧力と流量は操作パネルで設定できます。お客様の様々な配管条件でも、バイパス配管調整をすることなく、可変周波数ポンプにより設定出力圧力で自動制御します。これにより、ポンプの消費電力を削減できます。
流量によってはバイパス配管が必要になる場合があります

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加熱時に発生する熱を利用するため、ヒーターを必要とせずに循環加熱を実現できます。

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シリアル通信(RS232C、RS485)と接点入出力(3点出力、2点入力)を標準装備。用途に応じて、お客様の機器との通信やシステム構築が可能です。また、DC24V出力も搭載しており、フロースイッチの設定時などにご使用いただけます。

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冷凍・加熱温度制御システムの制御インターフェース、多機能画像にはさまざまな関連情報が表示されます
表示:各温度制御ポイントのリアルタイム温度、排気吸入温度(圧力)、凝縮温度、冷却水温度(圧力)、入口および出口液体(ガス)温度(圧力)、電力、各コンポーネントの電流、電圧、水槽液面など

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モデルFLTZ-803WFLTZ-805WFLTZ-806WFLT-Z808WFLTZ-810W
温度範囲-80℃~+90℃
温度制御精度±0.05℃  
フロー制御7~25L/分 5BAR MAX12~45L/分 6BAR MAX
 流量制御は周波数変換器によって調整され、流量センサーのフィードバック信号に応じて速度が自動的に調整されます。循環ポンプの最大圧力は6barです。
冷却能力@-70℃0.6KW1KW1.5KW2KW2KW
火力2KW2KW2KW3.5KW3.5KW
内部循環液量4L5L6L8L10L
膨張タンク容量10L10L15L15L20L
熱媒体フッ素系液体
入力および出力インターフェースG1/2G1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4
冷却水インターフェースZG3/4ZG3/4ZG3/4G1G1
冷却水 @20℃1.8m3/時2.5m3/時3m3/時5m3/時6m3/時
電源380V 50Hz
ブレーカ25A25A32A40A50A
寸法 cm55*70*17565*85*18570*85*18570*85*18580*120*185
モデルFLT-1002WFLT-1004W
温度範囲-100℃~+80℃-100℃~+80℃
温度精度±0.1℃  ±0.1℃  
フロー制御 7~25L/分12~45L/分
 流量制御は周波数変換器によって調整され、流量センサーのフィードバック信号に応じて速度が自動的に調整されます。循環ポンプの最大圧力は6barです。
冷却能力@-90℃1.5KW3KW
火力3.5KW5.5KW
体内循環液量5L8L
膨張タンク容量10L15L
熱媒体フッ素系液体
入力および出力インターフェースZG3/4ZG3/4
冷却水インターフェースG3/4G1
冷却水 @20℃50L/分 2bar~7bar100L/分 2bar~7bar
380V 50Hz380V 50Hz
ブレーカ32A63A
重量 cm70*80*18580*120*185

プロセスニーズに合わせたカスタマイズされたソリューション

カスタムチラーサイズ


ポータブル、コンパクト、大型、小型のチラーなど、お客様のご要望に応じてカスタム設計いたします。
何トンのチラーが必要であっても、当社は最適なソリューションを提供できます。

カスタム温度範囲


-150℃ から +350℃ までの温度に対応したカスタム ソリューションを作成できます。
特定の業界向けのカスタム温度範囲。

カスタム冷却能力


当社は、さまざまな業界向けに非常に幅広い冷却能力を提供しています。

カスタムチラータイプ


当社は、空冷式、水冷式、蒸発凝縮式チラーなど、さまざまな冷却方式のチラーを提供しています。
冷凍コンプレッサーの種類に関わらず、お客様のご要望に応じて設計いたします。

カスタムチラーアクセサリ


当社では、コンプレッサー、蒸発器、熱交換器、循環ポンプ、コントローラー、膨張弁、シェル材料など、国際的に有名なさまざまなアクセサリを使用しており、これらはすべてお客様のニーズに合わせてカスタマイズできます。

カスタムチラー電圧


ニーズに応じてチラーの電圧と位相をカスタマイズします。
オプション110V/60HZ、220V/60HZ、380V/50HZ、220V/50HZ、400V/50HZ、460V/60HZ、440V~480V/60HZなど。

弊社の チラー工場

当社は自社工場を持ち、温度制御分野で20年以上の経験を持つ強力なチラーサプライヤーです。

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    MD -75℃~225℃

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    温度強制システムはThermal Stream Equipment AESシリーズです
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