LNEYA CHILLERS
サーマルチャックまたはサーマルプレート/サーマルコントロールユニット
MD -75℃～225℃- 温度精度±0.1℃
- 火力-60°C ～ +25°C: 2 分 0°C ～ +25°C: 2 分 +25°C ～ +220°C: 6 分
- 冷却力220°Cから+25°C: 2分 +25°Cから-60°C: 6分
- ソースパワー2.8KW
- フラット形状丸型/四角型
クイック温度変化制御チャック
-75℃～225℃
構成の詳細
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モデル |
MD-708 |
MD-712 |
MDL-708 |
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温度範囲 |
-75℃～225℃ |
-75℃～225℃ |
-75℃～225℃ |
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温度制御精度 |
±0.1℃ |
±0.1℃ |
±0.1℃ |
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温度均一性 |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
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平坦性 |
±50um |
±50um |
±50um |
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タブレットサイズ |
直径200mmのディスク |
直径300mmのディスク |
150mm×200mm |
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ホストとカードケーブル |
2.5m（他の長さもカスタマイズ可能） |
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平面処理 |
電気メッキニッケル（オプションで金メッキ） |
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ヒートアップ |
-60°C ～ +25°C: 2 分 0°C～+25°C: 2分 +25°C～+220°C: 6分 |
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クールダウン |
220°C～+25°C: 2分 +25°C ～ -60°C: 6 分 |
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制御システム |
PLCコントローラ、加熱フィードフォワードPIDファジーアルゴリズム、冷却電子膨張弁PID調整制御冷却能力 |
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表示と記録 |
7インチカラータッチスクリーン、温度曲線を記録 |
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コミュニケーション |
イーサネットインターフェースTCP/IPプロトコル |
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冷凍コンプレッサー |
太康 |
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電源 |
220V 50/60Hz 2.8KW |
220V 50/60Hz 4.5KW |
220V 50/60Hz 2.8KW |
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ホストサイズ mm |
550×650×370 |
550×650×370 |
550×650×370 |
製品説明
MDの熱試験における最大の革新は、熱制御チャックシリーズです。主に半導体ウェーハの性能試験、モデリング、プロセス開発、設計欠陥またはIC故障解析に使用され、急速な温度変化を実現し、温度を正確に制御できます。システム自体には独自の冷蔵庫があり、液体窒素、二酸化炭素などの消費を回避します。各システムにはチャックと冷温制御ユニットが含まれています。
プレート内部は冷媒の直接蒸発方式を採用しており、液体冷却方式に比べ熱交換効率とプレート単位面積あたりの熱交換電力が大幅に向上します。
最大25°C/分の急速冷却/加熱速度
液体窒素、二酸化炭素などの消費を避けるための内蔵冷蔵庫。プログラム可能な自動化、温度安定性+/-0.1℃
コントローラーはタッチスクリーンとリモートインターフェースを備えており、機器の温度を正確に制御および監視します。
テストステータスの表示 - リアルタイムデータ
サーマルチャックMDシリーズは、オープンフラット表面作業プラットフォーム、急速な温度上昇と下降、一定温度制御を提供し、RFデバイスや高密度パワーデバイス（IGBTおよびMOSFET）のテストに使用できるほか、実験室のフラットパネル（プラズマ、生物製品、バッテリー）などの急速冷却にも使用できます。
