LNEYA CHILLERS
FLTZ -30℃〜+40℃
二重周波数変換シリーズ;循環ポンプとコンプレッサーは周波数変換制御を採用- 温度精度±0.1℃
- フロー制御15〜45/分 6bar最大
- ポンプ圧力6Bar最大
- 出力範囲380V 3.5kW ヒーター
FLTZ -100℃～+90℃ 低温カスケード冷凍機シリーズ
| モデル | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
| FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
| 温度範囲 | 5℃～90℃ | ||||||
| 温度制御精度 | ±0.05℃（定常出口温度） | ||||||
| 冷却能力@10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 冷媒 | R410A | ||||||
| 冷媒 | シリコーンオイル、フッ素液体、ポリオール水溶液、DI等（DI温度は10℃以上に制御する必要があります） | ||||||
| 接続サイズ | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 |
| 冷却水接続サイズ | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 | ゼグ1 | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量@20℃ | 1.5m³/時 | 2m³/時 | 2.5m³/時 | 4m³/時 | 4.5m³/時 | 5.6m³/時 | 9m³/時 |
| プロセス温度制御 | リモートターゲット温度は、自分で作成したモデルと組み合わせることで制御できます。 構築ツリーアルゴリズムとカスケードアルゴリズム |
||||||
| 寸法 cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| モデル | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| 温度範囲 | -100℃～+90℃ | |
| 温度制御精度 | ±0.05℃（定常出口温度） | |
| フロー制御 | 7～25L/分 | 12～45L/分 |
| -90℃での冷却能力 | 1.5kW | 3kW |
| 暖房能力 | 3.5kW | 5.5kW |
| 内部循環液量 | 5L | 8L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 15L |
| 熱伝導媒体 | フッ素系液体 | |
| 接続サイズ | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 冷却水接続サイズ | ZG3/4 | ゼグ1 |
| 冷却水@20℃ | 50L/分 2bar～7bar | 100L/分 2bar～7bar |
| サーキットブレーカー | 32A | 63A |
| プロセス温度制御 | リモートターゲット温度は、自分で作成したモデルと組み合わせることで制御できます。 構築ツリーアルゴリズムとカスケードアルゴリズム |
|
温度範囲 -45℃～90℃
| モデル | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
| FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
| 温度範囲 | 5℃～90℃ | ||||||
| 温度制御精度 | ±0.05℃（定常出口温度） | ||||||
| 冷却能力@10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 冷媒 | R410A | ||||||
| 冷媒 | シリコーンオイル、フッ素液体、ポリオール水溶液、DI等（DI温度は10℃以上に制御する必要があります） | ||||||
| 接続サイズ | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 |
| 冷却水接続サイズ | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 | ゼグ1 | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量@20℃ | 1.5m³/時 | 2m³/時 | 2.5m³/時 | 4m³/時 | 4.5m³/時 | 5.6m³/時 | 9m³/時 |
| プロセス温度制御 | リモートターゲット温度は、自分で作成したモデルと組み合わせることで制御できます。 構築ツリーアルゴリズムとカスケードアルゴリズム |
||||||
| 寸法 cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| モデル | FLTZ-202 | FLTZ-203 | FLTZ-204 | FLTZ-206 | FLTZ-208 | FLTZ-210 | FLTZ-215 |
| FLTZ-202W | FLTZ-203W | FLTZ-204W | FLTZ-206W | FLTZ-208W | FLTZ-210W | FLTZ-215W | |
| 温度範囲 | -25℃～90℃ | ||||||
| 温度制御精度 | ±0.05℃（定常出口温度） | ||||||
| フロー制御 | 10～25L/分 | 15～45L/分 | 25～75L/分 | ||||
| 冷却能力@-15℃ | 2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| 内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 冷媒 | R404A | ||||||
| 冷媒 | シリコーンオイル、フッ素液体、グリコール溶液など | ||||||
| 接続サイズ | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 |
| 冷却水接続サイズ | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量@20℃ | 1.2m³/時 | 1.6m³/時 | 2.6m³/時 | 3.6m³/時 | 5.5m³/時 | 7m³/時 | 10.2m³/時 |
| プロセス温度制御 | リモートターゲット温度は、自分で作成したモデルと組み合わせることで制御できます。 構築ツリーアルゴリズムとカスケードアルゴリズム |
||||||
| 寸法 cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| モデル | FLTZ-402 | FLTZ-403 | FLTZ-404 | FLTZ-406 | FLTZ-408 | FLTZ-410 | FLTZ-415 |
| FLTZ-402W | FLTZ-403W | FLTZ-404W | FLTZ-406W | FLTZ-408W | FLTZ-410W | FLTZ-415W | |
| 温度範囲 | -45℃～90℃ | ||||||
| 温度制御精度 | ±0.05℃（定常出口温度） | ||||||
| フロー制御 | 10～25L/分 5bar以下 | 15～45L/分 5bar以下 | 25～75L/分 5bar以下 | ||||
| 加熱 | コンプレッサー加熱によるコンデンサーの霜付き防止技術 | ||||||
| 冷却能力@-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 冷媒 | R404A | ||||||
| 冷媒 | シリコーンオイル、フッ素液体、グリコール溶液など | ||||||
| 接続サイズ | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 |
| 冷却水接続サイズ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 | ゼグ1 | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量@20℃ | 1.5m³/時 | 2.4m³/時 | 3.5m³/時 | 5m³/時 | 5.5m³/時 | 6m³/時 | 8m³/時 |
| プロセス温度制御 | リモートターゲット温度は、自分で作成したモデルと組み合わせることで制御できます。 構築ツリーアルゴリズムとカスケードアルゴリズム |
||||||
| 寸法 cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
熱交換チラー コンプレッサー不要
| モデル | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| 温度範囲 | 冷却水温度 +5℃～90℃ | ||||||
| 温度制御精度 | ±0.05℃（定常出口温度） | ||||||
| 冷却水温度 | 7℃～30℃ 冷却水の流れはシーメンス/ハネウェルの調整弁によって制御されます | ||||||
| 冷却能力 | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
| 試験条件：循環量が最大の場合、 温度制御温度と冷却水温度は15℃です |
|||||||
| 循環ポンプ | 7~20L/分 5bar | 15~40L/分 5bar | 20~60L/分 5bar | 40~110L/分 5bar | 150~250L/分 5bar | 250~500L/分 5bar | 400~650L/分 5bar |
| タンク容量 | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| 寸法 cm | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | カスタマイズ | カスタマイズ | カスタマイズ | カスタマイズ |
シングル チャネル空冷式クーラーは、主にエッチング装置用に設計されています。チャンバー側壁の独立した温度制御に使用されます。
アプリケーション
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空冷チラー AETシリーズ” />
あらゆる種類の半導体チップ、フラッシュメモリFlash / EMMC、PCB回路基板、光通信、電子産業などのICテストに適しています。 空冷チラー AETシリーズあらゆる種類の半導体チップ、フラッシュメモリFlash / EMMC、PCB回路基板、光通信、電子産業などのICテストに適しています。
- MD -75℃～225℃” />
-75℃ ～ 225℃ 型式 MD-708 MD-712 MDL-708 温度範囲 -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ 温度制御精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ 温度均一性 ±1℃ ±1℃ ±1℃ 平坦度 ±50um ±50um ±50um 錠剤サイズ 直径200mm MD -75℃～225℃-75℃ ～ 225℃ 型式 MD-708 MD-712 MDL-708 温度範囲 -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ 温度制御精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ 温度均一性 ±1℃ ±1℃ ±1℃ 平坦度 ±50um ±50um ±50um 錠剤サイズ 直径200mm
- ゼットエルジェ -40℃~-15℃” />
複数のデバイスを大きなキャビネットに統合することで、複数の制御要件を満たすことができます。小さな熱交換面積と大きな熱交換容量に使用されます。表 {width: 100%;border-collapse: collapse;}th、t… ゼットエルジェ -40℃~-15℃複数のデバイスを大きなキャビネットに統合することで、複数の制御要件を満たすことができます。小さな熱交換面積と大きな熱交換容量に使用されます。表 {width: 100%;border-collapse: collapse;}th、t…
- ガス冷却チラーLQ -40°C~-110°C” />
LQ -110°C~+110°C Gas Cooling Chiller Cooling capacity：0.25kW~25kW Power range：6.5kW~50kW Temperature control accuracy ：±0.3℃ Gas flow rate per minute 12m³/h~100m³/h Cooling temperature range：-110°C~+110°C Gas coolin… ガス冷却チラーLQ -40°C~-110°CLQ -110°C~+110°C Gas Cooling Chiller Cooling capacity：0.25kW~25kW Power range：6.5kW~50kW Temperature control accuracy ：±0.3℃ Gas flow rate per minute 12m³/h~100m³/h Cooling temperature range：-110°C~+110°C Gas coolin…
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