半導体マルチチャンネルチラー

30℃～100℃

チラー高精度温冷循環装置

温度精度±0.1℃
冷媒R404A
フロー制御25〜75/分 6bar最大
出力範囲380V 3kW～17kW

問い合わせ

製品詳細パラメータ

FLTZ -10℃~90℃ デュアルチャンネル

モデル	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
パイプライン	チャンネル1	チャンネル2	チャンネル3
温度範囲	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
温度制御精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
冷却能力	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
暖房能力	2kW	6kW	ポンプの熱損失
熱伝達媒体の流れ	30L/分@0.85MPa	30L/分@0.85MPa	20L/分@0.8MPa
熱伝達媒体インターフェース	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
周囲温度	10～35℃	10～35℃	10～35℃
周囲の湿度	30～70%	30～70%	30～70%
冷却水温度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷却水の流れ	30L/分@15~20℃	15L/分@15~20℃	15L/分@15~20℃
サーキットブレーカー	75A
プロセス温度制御	独自に作成したモデルフリーの自己構築ツリーアルゴリズムとカスケードアルゴリズムに基づいてリモートターゲット温度を制御
重さ	600kg
寸法	60010001700

モデル	FLTZ-203W/2T デュアルシステム		FLTZ-305W/2T デュアルシステム		FLTZ-406W/2T デュアルシステム
温度範囲	-20℃〜90℃		-30℃〜90℃		-45℃〜90℃
温度制御精度	±0.1℃
フロー制御と圧力	15〜45l/分 6bar最大
加熱	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
冷却能力	-15℃で3KW	-15℃で3KW	-15℃で5KW	-15℃で5KW	-35℃で2.5KW	-35℃で2.5KW
内部循環液量	5L	5L	8L	8L	8L	8L
膨張タンク容量	15L		25L		25L
熱伝達媒体	フッ素化剤、不凍液、熱伝導性シリコンオイル等
冷媒	R404A/R448
熱伝達媒体インターフェース	ZG3/4
冷却水インターフェース	ZG3/4
冷却水	20℃で50L/分		20℃で600L/分		20℃で50L/分
電源	三相220V / 三相400V / 三相460V
プロセス温度制御	独自に作成したモデルフリーの自己構築ツリーアルゴリズムとカスケードアルゴリズムに基づいてリモートターゲット温度を制御

FLTZ -45℃~90℃ デュアルチャンネル

モデル	FLTZ-203W/2Tデュアルシステム		FLTZ-305W/2Tデュアルシステム		FLTZ-406W/2Tデュアルシステム
温度範囲	-20℃〜90℃		-30℃〜90℃		-45℃〜90℃
温度制御精度	±0.1℃
熱伝導媒体流量	15〜45l/分 6bar最大
暖房能力	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
冷却能力	-15℃で3kW	-15℃で3kW	-15℃で5kW	-15℃で5kW	-35℃で2.5kW	-35℃で2.5kW
体内循環液量	5L	5L	8L	8L	8L	8L
膨張タンク容量	15L		25L		25L
熱伝導媒体	フッ素系液体、不凍液、熱伝導性シリコーンオイル等
冷媒	R404A/R448
熱伝導媒体インターフェース	ZG3/4
冷却水インターフェース	ZG3/4
冷却水インターフェース	20℃で50L/分		20℃で600L/分		20℃で50L/分
力	三相220V/三相400V/三相460V
プロセス温度制御	リモートターゲット温度は、自分で作成したモデルと無料のセルフビルドツリーを組み合わせることで制御できます。アルゴリズムとカスケードアルゴリズム

FLTZ -20℃~90℃ デュアルチャンネル

モデル	FLTZ-203W-2T
パイプライン	チャンネル1	チャンネル2
温度範囲	-20℃～+90℃	-20℃～90℃
温度制御精度	±0.1℃	±0.1℃
冷却能力	4kW@-10℃	4kW@-10℃
暖房能力	2kW	2kW
熱伝達媒体の流れ	20L/分@0.5MPa	20L/分@0.5MPa
熱伝達媒体インターフェース	ZG3/4	ZG3/4
周囲温度	10～35℃	10～35℃
周囲の湿度	30～70%	30～70%
冷却水温度	15～20℃	15～20℃
冷却水の流れ	20L/分	20L/分
サーキットブレーカー	30A
プロセス温度制御	独自に作成したモデルフリーの自己構築ツリーアルゴリズムとカスケードアルゴリズムに基づいてリモートターゲット温度を制御
重さ	400kg
寸法	5009001600

半導体製造試験工程における温度制御

40℃以内の加熱方法はコンプレッサー式高温ガス加熱完全密閉設計を採用し、機械は24時間連続運転します。

フロントエンドからバックエンドまで、半導体プロセスフロー全体の安定性と信頼性を確保

主に半導体製造・試験工程における精密温度制御に使用され、コンプレッサー式高温ガス加熱方式で40℃以内の加熱が可能

製品の説明

1. 独立した温度範囲: 多様な運用ニーズを満たすために、個別の温度制御範囲を持つ複数のチャネルをサポートします。
2. 冷暖房機能: 冷却機能と加熱機能の両方を有効にし、温度管理の柔軟性を高めます。
3. 柔軟なシステムオプション: 必要な温度範囲に合わせて、蒸気圧縮冷凍または ETCU コンプレッサーフリー熱交換システムの 2 つのシステム構成を提供します。
4. 統合設計: 膨張タンク、コンデンサー、冷却水システムなどのコンポーネントを組み込んで、パフォーマンスと効率を最適化します。
5. コンパクトで使いやすい: 機器のサイズを縮小し、操作手順を簡素化して、全体的な使いやすさと利便性を向上させるように設計されています。

空冷チラー AETシリーズ” />
あらゆる種類の半導体チップ、フラッシュメモリFlash / EMMC、PCB回路基板、光通信、電子産業などのICテストに適しています。

空冷チラー AETシリーズ
あらゆる種類の半導体チップ、フラッシュメモリFlash / EMMC、PCB回路基板、光通信、電子産業などのICテストに適しています。
MD -75℃～225℃” />
-75℃ ～ 225℃ 型式 MD-708 MD-712 MDL-708 温度範囲 -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ 温度制御精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ 温度均一性 ±1℃ ±1℃ ±1℃ 平坦度 ±50um ±50um ±50um 錠剤サイズ直径200mm

MD -75℃～225℃
-75℃ ～ 225℃ 型式 MD-708 MD-712 MDL-708 温度範囲 -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ 温度制御精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ 温度均一性 ±1℃ ±1℃ ±1℃ 平坦度 ±50um ±50um ±50um 錠剤サイズ直径200mm
ゼットエルジェ -40℃~-15℃” />
複数のデバイスを大きなキャビネットに統合することで、複数の制御要件を満たすことができます。小さな熱交換面積と大きな熱交換容量に使用されます。表 {width: 100%;border-collapse: collapse;}th、t…

ゼットエルジェ -40℃~-15℃
複数のデバイスを大きなキャビネットに統合することで、複数の制御要件を満たすことができます。小さな熱交換面積と大きな熱交換容量に使用されます。表 {width: 100%;border-collapse: collapse;}th、t…
ガス冷却チラーLQ -40°C~-110°C” />
LQ -110°C~+110°C Gas Cooling Chiller Cooling capacity：0.25kW~25kW Power range：6.5kW~50kW Temperature control accuracy ：±0.3℃ Gas flow rate per minute 12m³/h~100m³/h Cooling temperature range：-110°C~+110°C Gas coolin…

ガス冷却チラーLQ -40°C~-110°C
LQ -110°C~+110°C Gas Cooling Chiller Cooling capacity：0.25kW~25kW Power range：6.5kW~50kW Temperature control accuracy ：±0.3℃ Gas flow rate per minute 12m³/h~100m³/h Cooling temperature range：-110°C~+110°C Gas coolin…