熱交換チラー(半導体温度制御)
ETCU 5℃~90℃温度範囲: +5℃~90℃ ±0.3℃
冷却能力: 5kw〜30kw
タンク容量: 6L〜15L
力: 06KW〜1.6KW
半導体製造および試験工程における温度制御
40℃以内の加熱方法はコンプレッサー式高温ガス加熱完全密閉設計を採用し、機械は24時間連続運転します。
フロントエンドからバックエンドまで、半導体プロセスフロー全体の安定性と信頼性を確保
製品を推奨する
LTZ -115°C〜90°C” />
*空冷式と水冷式 1. 広い温度範囲:-115℃~90℃の動作をサポートし、あらゆる温度範囲に対応します。 LTZ -115°C〜90°C*空冷式と水冷式 1. 広い温度範囲:-115℃~90℃の動作をサポートし、あらゆる温度範囲に対応します。
温度範囲 -80℃~-20℃” />
24時間連続運転を保証できます。エチレングリコールと水の混合物の循環冷凍 1. 循環冷凍に水と混合したエチレングリコールを使用できるため、資源を節約できます。 2. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 3. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 4. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 5. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 6. 循環冷凍 温度範囲 -80℃~-20℃24時間連続運転を保証できます。エチレングリコールと水の混合物の循環冷凍 1. 循環冷凍に水と混合したエチレングリコールを使用できるため、資源を節約できます。 2. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 3. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 4. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 5. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 6. 循環冷凍
LTZ 可変周波数Mシリーズ” />
冷蔵タンクと循環ポンプを既に備えている温度制御対象に適しています。媒体は循環ポンプを介してLTZ Mシリーズ冷凍機に輸送され、閉ループ冷凍機となります。 LTZ 可変周波数Mシリーズ冷蔵タンクと循環ポンプを既に備えている温度制御対象に適しています。媒体は循環ポンプを介してLTZ Mシリーズ冷凍機に輸送され、閉ループ冷凍機となります。
LTGスクリューチラーユニット” />
Temperature range -80℃~5℃ Temperature control accuracy: ±0.1℃ Support data export, remote computer control,… LTGスクリューチラーユニットTemperature range -80℃~5℃ Temperature control accuracy: ±0.1℃ Support data export, remote computer control,…
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