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熱交換チラー ETCU

熱交換チラー(半導体温度制御)

ETCU 5℃~90℃

温度範囲: +5℃~90℃ ±0.3℃

冷却能力: 5kw〜30kw

タンク容量: 6L〜15L

力: 06KW〜1.6KW

半導体製造および試験工程における温度制御

40℃以内の加熱方法はコンプレッサー式高温ガス加熱完全密閉設計を採用し、機械は24時間連続運転します。

フロントエンドからバックエンドまで、半導体プロセスフロー全体の安定性と信頼性を確保

モデル ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
温度範囲 冷却水温度 +5℃~90℃
温度制御精度 ±0.05℃(出口温度定常状態)
冷却水温度 7℃〜30℃ 冷却水の流れを制御するためにシーメンス/ハネウェル調節弁を使用する
冷却能力 5kW 15kW 30kW 50kW 100kW 200kW 300kW
循環ポンプ流量 試験条件:最大循環時、制御温度と冷却水温度との温度差は15℃
貯蔵タンク容量 7~20L/分 5bar 15~40L/分 5bar 20~60L/分 5bar 40~110L/分 5bar 150~250L/分 5bar 250~500L/分 5bar 400~650L/分 5bar
寸法 5L 10L 20L 30L 60L 120L 240L
寸法 480*750*390 480*750*390 480*750*500 カスタマイズ カスタマイズ カスタマイズ カスタマイズ

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  • クライオチラー5LTZ -115°C〜90°C” />
    *空冷式と水冷式 1. 広い温度範囲:-115℃~90℃の動作をサポートし、あらゆる温度範囲に対応します。
    LTZ -115°C〜90°C

    *空冷式と水冷式 1. 広い温度範囲:-115℃~90℃の動作をサポートし、あらゆる温度範囲に対応します。

  • 3 30温度範囲 -80℃~-20℃” />
    24時間連続運転を保証できます。エチレングリコールと水の混合物の循環冷凍 1. 循環冷凍に水と混合したエチレングリコールを使用できるため、資源を節約できます。 2. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 3. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 4. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 5. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 6. 循環冷凍
    温度範囲 -80℃~-20℃

    24時間連続運転を保証できます。エチレングリコールと水の混合物の循環冷凍 1. 循環冷凍に水と混合したエチレングリコールを使用できるため、資源を節約できます。 2. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 3. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 4. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 5. 循環冷凍は、水と混合したエチレングリコールを冷却に使用できます。 6. 循環冷凍

  • LTZ Mシリーズ1LTZ 可変周波数Mシリーズ” />
    冷蔵タンクと循環ポンプを既に備えている温度制御対象に適しています。媒体は循環ポンプを介してLTZ Mシリーズ冷凍機に輸送され、閉ループ冷凍機となります。
    LTZ 可変周波数Mシリーズ

    冷蔵タンクと循環ポンプを既に備えている温度制御対象に適しています。媒体は循環ポンプを介してLTZ Mシリーズ冷凍機に輸送され、閉ループ冷凍機となります。

  • LTGスクリューチラーLTGスクリューチラーユニット” />
    Temperature range -80℃~5℃ Temperature control accuracy: ±0.1℃ Support data export, remote computer control,…
    LTGスクリューチラーユニット

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