LNEYA CHILLERS
半導体冷却チラー
温度範囲 -45℃～90℃- 温度精度±0.1℃
- フロー制御25〜75/分 6bar最大
- 冷媒R404A
- 出力範囲380V 3.5kW～16kW
半導体製造および試験工程における温度制御
40℃以内の加熱方法はコンプレッサー式高温ガス加熱完全密閉設計を採用し、機械は24時間連続運転します。
フロントエンドからバックエンドまで、半導体プロセスフロー全体の安定性と信頼性を確保
製品説明
半導体温度制御装置チラーは、主に半導体製造および試験工程における精密温度制御に使用されます。製品には、流体フッ素化液体温度制御（最低-100度）、ガス冷却および加熱の急速温度変化、急速温度変化チャック、低温ガス冷凍機（-120度）、直冷冷凍ユニット（-150度）などがあります。当社は、システムにさまざまなアルゴリズム（PID、フィードフォワードPID、モデルフリーセルフビルドツリーアルゴリズム）を適用し、高速応答と高い制御精度を実現します。
排気・吸入温度（圧力）、凝縮温度、冷却水温度（圧力）、入口・出口液体（ガス）温度（圧力）、各部品の電力、電流、電圧、チラーの水槽レベルなどの重要な情報は、制御システムに接続されたセンサーを通じて総合的に管理、監視、記録されます。
40℃以内の加熱方法はコンプレッサー式高温ガス加熱を採用しています。
チラー循環システムは全密閉型設計を採用し、循環ポンプは磁気駆動ポンプを採用しています。
チラー 100% ヘリウム テスト、100% 安全規制テストにより、システムの安全性と信頼性を確保します。
チラーはコピー機を100%で24時間連続稼働させます。
製造装置の処理温度を制御するチラー
シングル チャネル空冷式クーラーは、主にエッチング装置用に設計されています。チャンバー側壁の独立した温度制御に使用されます。
構成の詳細
| モデル | FLTZ-002/002W | FLTZ-003/003W | FLTZ-004/004W | FLTZ-006/006W | FLTZ-008/008W | FLTZ-010/010W | FLTZ-015/015W |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 温度制御 | 5℃～90℃ | ||||||
| 温度精度 | ±0.05℃ | ||||||
| フロー制御 | 10～25L/分、5bar以下 | 15～45L/分、6bar最大 | 25～75L/分、6bar最大 | ||||
| 冷凍能力@10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 冷媒 | R410A | ||||||
| 二次冷媒 | シリコーンオイル、フッ素液体、エチレングリコール水溶液、DI等（DI温度は10℃以上に管理する必要があります） | ||||||
| 入口と出口のインターフェース | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 |
| 冷却水出口 | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 | ゼグ1 | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量@20℃ | 1.5m³/時 | 2m³/時 | 2.5m³/時 | 4m³/時 | 4.5m³/時 | 5.6m³/時 | 9m³/時 |
| 電源（380V） | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
| 温度拡張 | 電気ヒーターを追加することで、温度範囲を-25℃から80℃に拡大 | ||||||
| モデル | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 温度範囲 | -25℃～90℃ | ||||||
| 温度制御精度 | ±0.05℃ | ||||||
| フロー制御 | 10～25L/分 ±0.3 | 15～45L/分 ±0.3 | 25～75L/分 ±0.3 | ||||
| 周波数変換器により調整、最大圧力: 5bar。 | |||||||
| 冷凍 @-15℃ |
2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| 内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 冷媒 | R404A | ||||||
| 二次冷媒 | シリコーンオイル、フッ素液、エチレングリコール水溶液等 | ||||||
| 入力/出力インターフェース | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 |
| 冷却水接続 | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 | ZG1 1/8 |
| 冷却水の流れ 20℃あたり |
1.2m³/時 | 1.6m³/時 | 2.6m³/時 | 3.6m³/時 | 5.5m³/時 | 7m³/時 | 10.2m³/時 |
| 力 （380V） |
3kW | 4kW | 6kW | 8kW | 9kW | 13kW | 17kW |
| 一時的な拡張 | 電気ヒーターで-25℃～80℃まで対応可能です。 | ||||||
| モデル | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 温度制御 | -45℃～90℃ | ||||||
| 温度制御精度 | ±0.05℃ | ||||||
| フロー制御 | 10～25L/分、5bar以下 | 15～45L/分、6bar最大 | 25～75L/分、6bar最大 | ||||
| コンプレッサー加熱によりコンデンサーの霜付きを防止します。 | |||||||
| 冷凍能力 @-35℃ |
1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 冷媒 | R404A | ||||||
| 二次冷媒 | シリコーンオイル、フッ素液、エチレングリコール水溶液等 | ||||||
| 入力/出力インターフェース | Ｇ１/２ | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼグ1 | ZG3/4 |
| 冷却水接続 | Ｇ１/２ | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼグ1 | ゼグ1 | ゼグ1 | ZG1 1/8 |
| 冷却水の流れ 20℃あたり |
1.5m³/時 | 2.4m³/時 | 3.5m³/時 | 5m³/時 | 5.5m³/時 | 6m³/時 | 8m³/時 |
| 力 （380V） |
3kW | 4kW | 6kW | 7.5kW | 9kW | 12kW | 15kW |
| 温度膨張 | 電気ヒーターで-25℃～80℃まで対応可能です。 | ||||||
通信機能
標準装備にはシリアル番号が含まれます
通信（RS232C、RS485）および接点入出力。顧客のデバイスと通信したり、システムを構築したりできます。
クライアント出力信号
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熱交換チラー ETCU” />
Temp Range:+5℃~90℃ ±0.3℃ Cooling Capacity: 5kw~30kw Tank volume: 6L~15L Power: 06KW~1.6KW Temperature control in semiconductor production and testing processes Heating method within 40 ℃ adopts a compressor… 熱交換チラー ETCUTemp Range:+5℃~90℃ ±0.3℃ Cooling Capacity: 5kw~30kw Tank volume: 6L~15L Power: 06KW~1.6KW Temperature control in semiconductor production and testing processes Heating method within 40 ℃ adopts a compressor…
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