チラーとは何ですか?

2.半導体製造にはなぜ チラー?

半導体製造において、チラーは欠かせない「縁の下の力持ち」です。チラーの主な役割は、フォトリソグラフィーやエッチングなどのプロセスには非常に厳しい温度要件があるため、温度を正確に制御することです。わずかな変動でもウェハの品質に影響を及ぼします。チラーは安定した冷却水を供給し、装置が最適な温度を維持できるようにします。


プラズマエッチング装置などの製造装置は、稼働中に大量の熱を発生します。この熱が効果的に放散されないと、プロセスの安定性が損なわれたり、装置が損傷したりする可能性があります。チラーは「冷却剤」として機能し、余分な熱を除去して装置の寿命を延ばします。


効果的な温度制御は、ウェハの反りや構造異常などの問題を防ぐことで製品の歩留まりも向上させ、生産効率にとって非常に重要です。さらに、レーザーや真空ポンプなどの特定の主要コンポーネントは温度に非常に敏感です。チラーはこれらのコンポーネント専用の冷却を提供し、安定した動作を保証します。


環境要件が厳しいクリーンルームでも、チラーは HVAC システムをサポートして適切な温度と湿度を維持できます。EUV リソグラフィーなどの高度なプロセスでは、さらに厳しい温度制御が求められますが、チラーはそれを容易に実現できます。つまり、チラーのサポートにより、半導体製造はより効率的で信頼性が高くなります。