
Control de temperatura en procesos de producción y prueba de semiconductores
El método de calentamiento a 40 ℃ adopta un diseño completamente cerrado de calentamiento por gas caliente con compresor y la máquina funciona de forma continua durante 24 horas.
Garantizar un flujo de proceso de semiconductores estable y confiable desde el principio hasta el final
Descripción del Producto
El dispositivo de control de temperatura de semiconductores Chiller se utiliza principalmente para el control preciso de la temperatura en los procesos de producción y prueba de semiconductores. Sus productos incluyen control de temperatura de líquido fluorado fluido (mínimo -100 grados), cambio rápido de temperatura de enfriamiento y calentamiento de gas, mandril de cambio rápido de temperatura, máquina de refrigeración de gas de baja temperatura (-120 grados), unidad de refrigeración de enfriamiento directo (-150 grados), etc. La empresa aplica varios algoritmos (PID, PID de avance y algoritmo de árbol autoconstruido sin modelo) en el sistema para lograr una respuesta rápida y una alta precisión de control.
La información importante como la temperatura de escape y succión (presión), la temperatura de condensación, la temperatura del agua de enfriamiento (presión), la temperatura del líquido (gas) de entrada y salida (presión), la energía eléctrica, la corriente y el voltaje de cada componente y el nivel del tanque de agua del enfriador se gestionan, monitorean y registran de manera integral a través de sensores conectados al sistema de control.
El método de calentamiento a 40 ℃ adopta calentamiento por gas caliente del compresor.
El sistema de circulación del enfriador adopta un diseño completamente cerrado y la bomba de circulación adopta una bomba de accionamiento magnético.
Prueba de helio del enfriador 100%, prueba de normas de seguridad del 100% para garantizar la seguridad y confiabilidad del sistema.
El enfriador hace funcionar la fotocopiadora de forma continua durante 24 horas a 100%.

Enfriadores que controlan la temperatura de procesamiento en los equipos de fabricación.
Enfriador de aire de un solo canal, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control de temperatura independiente para las paredes laterales de la cámara.
Detalles de configuración
Modelo | FLTZ-002/002W | FLTZ-003/003W | FLTZ-004/004W | FLTZ-006/006W | FLTZ-008/008W | FLTZ-010/010W | FLTZ-015/015W |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Control de temperatura | 5℃~90℃ | ||||||
Precisión de temperatura | ±0,05℃ | ||||||
Control de flujo | 10~25 l/min, 5 bar máx. | 15~45 l/min, 6 bar máx. | 25~75 l/min, 6 bar máx. | ||||
Capacidad de refrigeración a 10 ℃ | 6 kW | 8kW | 10 kW | 15 kW | 20 kW | 25 kW | 40 kW |
Volumen de líquido en circulación interna | 4 litros | 5 litros | 6 litros | 8 litros | 10 litros | 12 litros | 20 litros |
Capacidad del tanque de expansión | 10 litros | 10 litros | 15 litros | 15 litros | 20 litros | 25 litros | 35 litros |
Refrigerante | R410A | ||||||
Refrigerante secundario | Aceite de silicona, líquido fluorado, solución acuosa de etilenglicol, DI, etc. (la temperatura de DI debe controlarse por encima de 10 ℃) | ||||||
Interfaces de entrada y salida | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Salida de agua de refrigeración | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Caudal de agua de refrigeración a 20 ℃ | 1,5 m³/h | 2 m³/h | 2,5 m³/h | 4 m³/h | 4,5 m³/h | 5,6 m³/h | 9 m³/h |
Fuente de alimentación (380 V) | 3,5 kW | 4kW | 5,5 kW | 7 kW | 9,5 kW | 12 kW | 16 kW |
Extensión de temperatura | Al agregar un calentador eléctrico, amplíe el rango de temperatura de -25 ℃ a 80 ℃ |
Modelo | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
Rango de temperatura | -25℃~90℃ | ||||||
Precisión del control de temperatura | ±0,05℃ | ||||||
Control de flujo | 10~25 l/min ±0,3 | 15~45 l/min ±0,3 | 25~75 l/min ±0,3 | ||||
Ajustable mediante convertidor de frecuencia, presión máxima: 5 bar. | |||||||
Refrigeración @-15℃ |
2kW | 3kW | 3,8 kW | 6 kW | 7,6 kW | 10 kW | 15 kW |
Volumen de líquido de circulación interna | 4 litros | 5 litros | 6 litros | 8 litros | 10 litros | 12 litros | 20 litros |
Volumen del tanque de expansión | 10 litros | 10 litros | 15 litros | 15 litros | 20 litros | 25 litros | 35 litros |
Refrigerante | R404A | ||||||
Refrigerante secundario | Aceite de silicona, líquido fluorado, solución acuosa de etilenglicol, etc. | ||||||
Interfaz de entrada/salida | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Conexión de agua de refrigeración | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Flujo de agua de enfriamiento @20℃ |
1,2 m³/h | 1,6 m³/h | 2,6 m³/h | 3,6 m³/h | 5,5 m³/h | 7 m³/h | 10,2 m³/h |
Fuerza (380 V) |
3kW | 4kW | 6 kW | 8kW | 9 kW | 13 kW | 17 kW |
Expansión temporal | Se puede extender hasta -25℃~80℃ con un calentador eléctrico. |
Modelo | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
Control de temperatura | -45℃~90℃ | ||||||
Precisión del control de temperatura | ±0,05℃ | ||||||
Control de flujo | 10~25 l/min, 5 bar máx. | 15~45 l/min, 6 bar máx. | 25~75 l/min, 6 bar máx. | ||||
El calentamiento del compresor evita la formación de escarcha en el condensador. | |||||||
Capacidad de refrigeración @-35℃ |
1 kW | 1,4 kW | 1,8 kW | 2,5 kW | 3,3 kW | 5 kW | 8kW |
Volumen de líquido de circulación interna | 4 litros | 5 litros | 6 litros | 8 litros | 10 litros | 12 litros | 20 litros |
Volumen del tanque de expansión | 10 litros | 10 litros | 15 litros | 15 litros | 20 litros | 25 litros | 35 litros |
Refrigerante | R404A | ||||||
Refrigerante secundario | Aceite de silicona, líquido fluorado, solución acuosa de etilenglicol, etc. | ||||||
Interfaz de entrada/salida | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG3/4 |
Conexión de agua de refrigeración | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Flujo de agua de enfriamiento @20℃ |
1,5 m³/h | 2,4 m³/h | 3,5 m³/h | 5 m³/h | 5,5 m³/h | 6 m³/h | 8m³/h |
Fuerza (380 V) |
3kW | 4kW | 6 kW | 7,5 kW | 9 kW | 12 kW | 15 kW |
Expansión de temperatura | Se puede extender hasta -25℃~80℃ con un calentador eléctrico. |



Función de comunicación
El equipamiento estándar incluye serie
Comunicación (RS232C, RS485) y entrada/salida de contacto. Puede comunicarse con dispositivos del cliente o sistemas integrados.

señal de salida del cliente
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