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Temperatura de funcionamiento: -45 ℃ ~ 90 ℃

Enfriador de semiconductores

Temperatura de funcionamiento: -45 ℃ ~ 90 ℃
  • Precisión de temperatura±0,1℃
  • Control de flujo25~75/min 6 bar máx.
  • RefrigeranteR404A
  • Rango de potencia380 V 3,5 kW ~ 16 kW

bandera
Temperatura de funcionamiento: -45 ℃ ~ 90 ℃ 9

El método de calentamiento a 40 ℃ adopta un diseño completamente cerrado de calentamiento por gas caliente con compresor y la máquina funciona de forma continua durante 24 horas.

Descripción del Producto

El dispositivo de control de temperatura de semiconductores Chiller se utiliza principalmente para el control preciso de la temperatura en los procesos de producción y prueba de semiconductores. Sus productos incluyen control de temperatura de líquido fluorado fluido (mínimo -100 grados), cambio rápido de temperatura de enfriamiento y calentamiento de gas, mandril de cambio rápido de temperatura, máquina de refrigeración de gas de baja temperatura (-120 grados), unidad de refrigeración de enfriamiento directo (-150 grados), etc. La empresa aplica varios algoritmos (PID, PID de avance y algoritmo de árbol autoconstruido sin modelo) en el sistema para lograr una respuesta rápida y una alta precisión de control.

enfriamiento cmod ccd

Detalles de configuración

Modelo FLTZ-002/002W FLTZ-003/003W FLTZ-004/004W FLTZ-006/006W FLTZ-008/008W FLTZ-010/010W FLTZ-015/015W
Control de temperatura 5℃~90℃
Precisión de temperatura ±0,05℃
Control de flujo 10~25 l/min, 5 bar máx. 15~45 l/min, 6 bar máx. 25~75 l/min, 6 bar máx.
Capacidad de refrigeración a 10 ℃ 6 kW 8kW 10 kW 15 kW 20 kW 25 kW 40 kW
Volumen de líquido en circulación interna 4 litros 5 litros 6 litros 8 litros 10 litros 12 litros 20 litros
Capacidad del tanque de expansión 10 litros 10 litros 15 litros 15 litros 20 litros 25 litros 35 litros
Refrigerante R410A
Refrigerante secundario Aceite de silicona, líquido fluorado, solución acuosa de etilenglicol, DI, etc. (la temperatura de DI debe controlarse por encima de 10 ℃)
Interfaces de entrada y salida ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
Salida de agua de refrigeración ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
Caudal de agua de refrigeración a 20 ℃ 1,5 m³/h 2 m³/h 2,5 m³/h 4 m³/h 4,5 m³/h 5,6 m³/h 9 m³/h
Fuente de alimentación (380 V) 3,5 kW 4kW 5,5 kW 7 kW 9,5 kW 12 kW 16 kW
Extensión de temperatura Al agregar un calentador eléctrico, amplíe el rango de temperatura de -25 ℃ a 80 ℃

Modelo FLTZ-202
FLTZ-202W
FLTZ-203
FLTZ-203W
FLTZ-204
FLTZ-204W
FLTZ-206
FLTZ-206W
FLTZ-208
FLTZ-208W
FLTZ-210
FLTZ-210W
FLTZ-215
FLTZ-215W
Rango de temperatura -25℃~90℃
Precisión del control de temperatura ±0,05℃
Control de flujo 10~25 l/min ±0,3 15~45 l/min ±0,3 25~75 l/min ±0,3
Ajustable mediante convertidor de frecuencia, presión máxima: 5 bar.
Refrigeración
@-15℃
2kW 3kW 3,8 kW 6 kW 7,6 kW 10 kW 15 kW
Volumen de líquido de circulación interna 4 litros 5 litros 6 litros 8 litros 10 litros 12 litros 20 litros
Volumen del tanque de expansión 10 litros 10 litros 15 litros 15 litros 20 litros 25 litros 35 litros
Refrigerante R404A
Refrigerante secundario Aceite de silicona, líquido fluorado, solución acuosa de etilenglicol, etc.
Interfaz de entrada/salida ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
Conexión de agua de refrigeración ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
Flujo de agua de enfriamiento
@20℃
1,2 m³/h 1,6 m³/h 2,6 m³/h 3,6 m³/h 5,5 m³/h 7 m³/h 10,2 m³/h
Fuerza
(380 V)
3kW 4kW 6 kW 8kW 9 kW 13 kW 17 kW
Expansión temporal Se puede extender hasta -25℃~80℃ con un calentador eléctrico.
Modelo FLTZ-402
FLTZ-402W
FLTZ-403
FLTZ-403W
FLTZ-404
FLTZ-404W
FLTZ-406
FLTZ-406W
FLTZ-408
FLTZ-408W
FLTZ-410
FLTZ-410W
FLTZ-415
FLTZ-415W
Control de temperatura -45℃~90℃
Precisión del control de temperatura ±0,05℃
Control de flujo 10~25 l/min, 5 bar máx. 15~45 l/min, 6 bar máx. 25~75 l/min, 6 bar máx.
El calentamiento del compresor evita la formación de escarcha en el condensador.
Capacidad de refrigeración
@-35℃
1 kW 1,4 kW 1,8 kW 2,5 kW 3,3 kW 5 kW 8kW
Volumen de líquido de circulación interna 4 litros 5 litros 6 litros 8 litros 10 litros 12 litros 20 litros
Volumen del tanque de expansión 10 litros 10 litros 15 litros 15 litros 20 litros 25 litros 35 litros
Refrigerante R404A
Refrigerante secundario Aceite de silicona, líquido fluorado, solución acuosa de etilenglicol, etc.
Interfaz de entrada/salida ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG3/4
Conexión de agua de refrigeración ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
Flujo de agua de enfriamiento
@20℃
1,5 m³/h 2,4 m³/h 3,5 m³/h 5 m³/h 5,5 m³/h 6 m³/h 8m³/h
Fuerza
(380 V)
3kW 4kW 6 kW 7,5 kW 9 kW 12 kW 15 kW
Expansión de temperatura Se puede extender hasta -25℃~80℃ con un calentador eléctrico.

880 02 1
880 03 2
880 04 1

Función de comunicación

flt6

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