Temperatura de funcionamiento: -40 ℃ ~ -15 ℃
Enfriador refrigerado por aire para el proceso de producción de semiconductores- Compresor1,5 CV ~ 7 CV
- RefrigeranteR404A R507C R448
- Rango de potencia380 V 50 Hz, puede elegir 220 V
- Precisión de temperatura±0,5℃
Control de temperatura en procesos de producción y prueba de semiconductores
CHILLER tipo enfriamiento directo
Se pueden lograr múltiples requisitos de control fusionando varios dispositivos en un gabinete más grande
Se utiliza para áreas de intercambio de calor pequeñas y grandes capacidades de intercambio de calor.

Detalles de configuración
Modelo | ZLJ-41.0 | ZLJ-41.5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
Rango de temperatura | -40℃~-10℃ | ||||||
Precisión del control de temperatura | Temperatura de evaporación de control de ±0,5 ℃ | ||||||
Método de limitación | Válvula de expansión electrónica | ||||||
Controlador | PLC Siemens | ||||||
Mostrar registro | Pantalla táctil de 7 pulgadas, registra la temperatura, la presión del sistema y otra información. | ||||||
Componentes principales | Secador de filtro Danfoss, válvula solenoide Castor, sensor de presión Johnson Controls, ventilador EBM (refrigerado por aire), separador de aceite Danfoss/Emerson, | ||||||
Compresor | Secop, Taikang, Emerson, Carlisle | ||||||
Refrigerante | R404A Opcional R507C R448 | ||||||
Refrigeración a alta temperatura | Con tecnología de enfriamiento directo de alta temperatura de 150 grados, para cumplir con el objetivo de capacidad de enfriamiento rápido durante el funcionamiento a alta temperatura. | ||||||
Compressor Size | 7/8 caballos | 1,5 CV | 2 caballos de fuerza | 3 caballos de fuerza | 4 caballos de fuerza | 6 caballos | 8 caballos |
Fuente de alimentación V | 220 V 50 Hz | 380 V 50 Hz Se puede personalizar 220 V |
Descripción del Producto
Equipado con tecnología de enfriamiento directo a una temperatura alta de 150 ℃, cumpliendo el objetivo de capacidad de enfriamiento rápido durante el funcionamiento a alta temperatura.
El producto expulsa y evapora directamente el refrigerante del sistema de refrigeración hacia el elemento de control de destino (intercambiador de calor) para el intercambio de calor, enfriando así el objeto de control de destino. En comparación con el fluido (gas) transportado hacia el intercambiador de calor, la capacidad de intercambio de calor es generalmente más de 5 veces mayor, lo que es especialmente adecuado para aplicaciones en las que el área de intercambio de calor del intercambiador de calor es pequeña pero la capacidad de intercambio de calor es grande.
El refrigerador de enfriamiento directo también se puede utilizar como captura de gas, el refrigerante pasa directamente a la trampa para evaporarse y el gas en el espacio se captura rápidamente a través del efecto de condensación en la superficie de la trampa.

apariencia

1. Interfaz de refrigerante 2. Mango portátil
3. Pantalla táctil 4. Asa portátil
5. Ranura para tarjeta de pantalla táctil 6. Salida de aire

Protección de seguridad
Uso de interruptores automáticos de corriente residual, interruptores de secuencia de fase, protectores de nivel de líquido, protectores de alto y bajo voltaje y protectores de alta temperatura de Schneider y otras marcas.
Interfaz de comunicación de datos
La configuración estándar incluye un PT100, una interfaz USB y una interfaz de comunicación RS485. Se pueden seleccionar otras interfaces analógicas y señales de contacto, así como una interfaz Ethernet.

Proceso de solicitud
Ampliamente aplicable a procesos de grabado, deposición química de vapor y deposición física de vapor en fábricas de obleas de semiconductores.

Grabado de obleas
Deposición química de vapor
Deposición física de vapor

GRABAR AL AGUA FUERTE
Enfermedad cardiovascular
Degradación por vapor

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